<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 加工技術

            > d33模式鐵電單晶薄膜壓電振動傳感器及其制備方法

            d33模式鐵電單晶薄膜壓電振動傳感器及其制備方法

            878   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 23:11:38
            本申請提供了一種d33模式鐵電單晶薄膜壓電振動傳感器及其制備方法,通過將鈮酸鋰與帶有氧化層的硅基底鍵合,再依次進行減薄、化學機械拋光和清洗,得到鈮酸鋰單晶薄膜;在鈮酸鋰鐵電單晶薄膜表面利用濺射刻蝕法制備對準標記,在其表面采用濺射剝離法制備表面電極,并刻蝕鈮酸鋰單晶薄膜使其圖形化,最后在硅基底正面形成質量塊和懸臂,并從硅基背面對其進行釋放制得產物。本申請的制備方法可將鐵電單晶鈮酸鋰薄膜與帶氧化層的硅基很好鍵合,并完成了寬頻帶、高電壓輸出的元器件的制備,工藝可行性和重復率高。本申請制得產物具有很高的機電轉換效率、輸出電壓和低溫環境輸出性能下降小的特點。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “d33模式鐵電單晶薄膜壓電振動傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            加工技術
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>