本實用新型提供了一種內嵌反射層的高功率容量體聲波諧振器,包括:叉指電極系統、薄膜;所述叉指電極系統包括:正電極、負電極;所述薄膜采用鈮酸鋰薄膜;當鈮酸鋰薄膜的表面的叉指電極系統分別被加載正電極和負電極時,交互的相鄰電極之間產生的水平電場將在鈮酸鋰薄膜中激勵起剪切波諧振;該剪切波諧振為此諧振器的主諧振模,且諧振波長大約是鈮酸鋰薄膜厚度的兩倍。本實用新型通過采用采用叉指電極在鈮酸鋰薄膜上激發剪切波諧振,使得該諧振器的諧振頻率主要與薄膜厚度有關,從而可以很容易地實現高頻率諧振,解決了一般聲波諧振器很難產生高頻諧振的問題。
聲明:
“內嵌反射層的高功率容量體聲波諧振器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)