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            光子芯片及其制備方法

            724   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 23:11:37
            一種光子芯片及其制備方法,芯片包括鈮酸鋰薄膜調制器陣列(1)、第一光耦合陣列(2)和二氧化硅波導波分復用器(3),其中:鈮酸鋰薄膜調制器陣列(1)由一個及以上的鈮酸鋰薄膜調制器組成,用于對光信號進行調制;第一光耦合陣列(2)由一個及以上的第一光耦合結構組成,第一光耦合結構的一端連接至對應的鈮酸鋰薄膜調制器,并且其另一端連接至二氧化硅波導波分復用器(3),以將調制后的光信號傳輸至二氧化硅波導波分復用器(3);二氧化硅波導波分復用器(3)用于對調制后的光信號進行波分復用。實現了片上鈮酸鋰薄膜調制器與片上波分復用結構的單芯片集成,并提高了器件集成度。
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