本發明涉及壓電晶體技術領域,尤其是一種生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法,包括以下步驟:a)將鉭酸鋰原料裝入鉑銥合金坩堝內,抽真空后,沖氮氣至正壓;b)升溫加熱至1600~1645℃,是原料熔融;c)按下降籽晶,當籽晶下降至坩堝口0位時停止下降,將稱重重量清零;d)根據籽晶重量變化調整引晶溫度,及籽晶的下降或上升速率,完成引晶后,晶體進入自動生長;e)本通過實時調整放肩生長和等徑生長的提拉速度控制晶體結晶速率,完成晶體生長后上拉晶體,使其脫離熔融液。
聲明:
“生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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