本發明公開了一種適用于光纖鈮酸鋰晶片研磨的卡具,由鈮酸鋰晶片夾具和夾具座、壓板以及鎖緊螺釘組成,通過鎖緊螺釘可以調節夾具座與夾具之間的相對位置,改變夾具座與夾具之間的作用力,從而改變夾具對光纖鈮酸鋰晶片的預緊力。此外,夾具的鈮酸鋰晶片夾持處的尺寸大于夾具座容許的最大尺寸,在鈮酸鋰晶片與研磨盤接觸時,研磨盤對鈮酸鋰晶片有作用力,則夾具與夾具座發生相對位移,夾具和夾具座的尺寸差使夾具通過自身的柔性鉸鏈結構發生形變,從而改變夾具作用在鈮酸鋰晶片上的夾緊力。研磨夾具包圍了光纖鈮酸鋰晶片的四個面,通過其中相對的兩個面施加力,使鈮酸鋰晶片在研磨的過程中姿態更加穩定,更利于其他研磨參數的控制。
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