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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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懸空式鈮酸鋰光波導

907 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 21:20:58

本發明涉及一種懸空式鈮酸鋰光波導，選取鈮酸鋰樣品作為基材按以下面步驟操作，首先，使用能量為1兆電子伏(MeV)的氦離子(He+)束轟擊鈮酸鋰樣品，在樣品表面下方一定區域內形成晶格損傷，形成晶格損傷的部分具有小于沒有損傷的部分的折射率，將光束限制在波導區域中傳播。第二步使用聚焦離子束刻蝕的方法在樣品表面刻蝕出圓形或矩形的孔洞，混合的酸溶液可以通過這些孔洞接觸到具有晶格損傷的部分并進一步把這些部分腐蝕掉，從而形成空氣隔層，懸空的波導結構便在鈮酸鋰樣品的表面形成了。本發明鈮酸鋰光波導對在其中傳播的光信號有非常好的限制作用，具有極低的傳輸損耗，可以被廣泛應用于電子、光學、和調制類器件。

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“懸空式鈮酸鋰光波導” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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