本發明涉及光纖通信傳輸技術領域,具體涉及一種鈮酸鋰光調制器及其制備與封裝方法,旨在解決現有技術中鈮酸鋰波導芯片的尺寸較大、制備工藝較為復雜、封裝工藝較為簡陋的問題,其技術要點在于使用氫化非晶硅在鈮酸鋰基底上制備波導結構,利用非晶硅的高折射率可以有效減小波導尺寸,從而減小鈮酸鋰光調制器上金屬電極之間的間距,進而使得所需調制電壓低;通過調節氫化非晶硅的厚度在保證波導尺寸的前提下最大化器件的光電效應,通過控制二氧化硅的厚度以及金屬電極的厚度,能夠保證較好的射頻匹配,而與外界連接的光纖接口通過在穿過波導層的波導線實現;完善的封裝工藝可以降低漏電現象發生的概率,避免因環境潮濕而導致的短路現象的發生。
聲明:
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