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            > 鈦擴散鈮酸鋰薄膜偏振控制器及其制造方法

            鈦擴散鈮酸鋰薄膜偏振控制器及其制造方法

            1083   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 21:06:29
            本發明公開了一種鈦擴散鈮酸鋰薄膜偏振控制器及其制造方法,包括輸入光纖、輸出光纖、基底、三個緩沖層、兩層電極;從所述基底(1)往上依次為所述二氧化硅下緩沖層(2)和所述下層金電極(3),所述下層金電極(3)之上再設置鈮酸鋰薄膜(5),所述鈮酸鋰薄膜(5)的+X向表面中間、沿晶體的Z方向設置鈦擴散鈮酸鋰條波導(6);所述二氧化硅上緩沖層(7)設置于鈮酸鋰薄膜(5)的上表面;所述上層金電極(8)設置于所述二氧化硅上緩沖層(7)的上表面;所述輸入光纖、輸出光纖分別與耦合封裝在鈦擴散鈮酸鋰條波導(6)上。本發明機械性能穩定、耐高溫、抗腐蝕,具有較大的折射率和介電常數,制造方法降低了生產難度,提高了成品率。
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