本發明公開了一種大尺寸鈮酸鋰晶片的加工方法,包括以下步驟:步驟1:通過制備富鋰多晶料、熔化、提拉生長工藝,得到大尺寸鈮酸鋰晶體;步驟2:將切割后的大尺寸鈮酸鋰晶片研磨,雙面減薄,得到表面具有粗糙結構的大尺寸超薄鈮酸鋰雙面減薄片;然后,置于拋光裝置中進行處理,得到大尺寸鈮酸鋰晶片,本發明通過制備富鋰多晶料、熔化、提拉生長、研磨,雙面減薄和拋光等工藝制備得到大尺寸鈮酸鋰晶片;該大尺寸鈮酸鋰晶片的加工方法具有工藝簡單,一次拋光,批量生產,拋光效率高,生產的鈮酸鋰晶片表面平坦度高。
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“大尺寸鈮酸鋰晶片及其加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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