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            鈮酸鋰光波導芯片

            1084   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 20:57:25
            本實用新型涉及一種鈮酸鋰光波導芯片,包括單晶硅基板、薄膜鈮酸鋰、設置在薄膜鈮酸鋰上的負熱光系數材料、設置在單晶硅基板上并包覆鈮酸鋰薄膜和負熱光系數材料的二氧化硅包層,以及設置在二氧化硅包層上的金屬電極;薄膜鈮酸鋰包括鈮酸鋰中心脊,或者,包括質子交換層和鈮酸鋰側翼。由于鈮酸鋰的折射率隨溫度的升高而增大,本實用新型利用負熱光系數材料折射率隨溫度升高而降低的特性,通過在鈮酸鋰薄膜上設置合適厚度的負熱光系數材料層,可以消除鈮酸鋰光波導有效折射率對溫度的敏感性,實現了幾種非熱敏設計的光波導結構,可以有效降低薄膜鈮酸鋰光波導芯片的熱光系數,使薄膜鈮酸鋰光波導的各種物理性能對溫度變化不敏感。
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