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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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火法冶金       濕法冶金       電冶金       真空冶金
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
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材料行業
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
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第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會

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最新會議

2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
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濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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在柔性襯底上制備硅納米線陣列的方法

1123 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 20:32:59

本發明涉及新能源中薄膜太陽電池的技術領域，尤其涉及一種在不銹鋼柔性襯底上制備硅納米線陣列的方法。1)在不銹鋼柔性襯底上采用磁控濺射方法沉積一層摻錫氧化銦(ITO)薄膜；2)將步驟1)得到的不銹鋼柔性襯底轉移至反應腔室，利用氫氣等離子體刻蝕方法對ITO薄膜進行刻蝕處理而得到銦金屬的納米顆粒；3)在步驟2)得到的不銹鋼柔性襯底上采用等離子體輔助化學氣相沉積(PECVD)技術生長硅納米線(包括i型、p型和n型硅納米線)。本發明提出的這種在柔性襯底上制備硅納米線陣列的方法，采用等離子體輔助化學氣相沉積系統，處理過程簡便易行，低溫低能耗，并且硅納米線的生長和硅薄膜的沉積互相兼容，非常方便進一步制作硅薄膜器件。

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“在柔性襯底上制備硅納米線陣列的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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