本發明適用于新能源材料領域,提供了一種具有自修復能力的無機柔性熱電薄膜器件,所述無機柔性熱電薄膜器件的兩端分別為冷端和熱端,所述無機柔性熱電薄膜器件包括多片熱電薄膜主體、襯底及電極,多片所所述熱電薄膜主體及電極分別設于所述襯底上,多片所述熱電薄膜主體通過所述電極串聯。該無機柔性熱電薄膜器件結構簡單,形狀可控,可以根據應用場景的不同做出相應調整而不影響其自修復能力;首次在無機熱電薄膜中實現了自修復功能;利用磁控濺射工藝,可以大面積制備,且襯底材料便宜,生產成本低。
聲明:
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