本發明涉及金剛石復合材料技術領域,尤其是涉及一種金剛石復合薄膜及其制備方法和應用。所述金剛石復合薄膜,包括金剛石和依次沉積在金剛石表面的鈦層、鉬層和鎳層。所述制備方法,包括如下步驟:在金剛石表面依次沉積形成鈦層、鉬層和鎳層,即得所述金剛石復合薄膜。本發明通過在金剛石表面沉積鈦層、鉬層和鎳層,在金剛石表面形成鈦鉬鎳金屬化結構體系,提高金剛石復合薄膜的抗拉強度同時賦予金剛石良好的焊接高強和氣密性能,滿足作為窗口材料的高強度、低損耗、氣密焊接性能好等技術要求,可用于大功率電真空器件的輸出窗。
聲明:
“金剛石復合薄膜及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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