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            > 沉積結晶二氧化鈦納米顆粒和薄膜的方法

            沉積結晶二氧化鈦納米顆粒和薄膜的方法

            942   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 17:46:48
            一種一步式和室溫處理工藝,利用超快脈沖激光燒蝕氧化鈦或金屬鈦靶將金 屬氧化物,如結晶二氧化鈦(TiO2)的納米顆?;蚣{米復合材料(納米顆粒組合的)薄 膜沉積在基片表面上。所述系統包括脈沖激光,它的脈沖持續時間范圍從幾飛秒 至幾十皮秒;光學設置,用于處理激光束,使得激光束以適當的平均能量密度和 適當的能量密度分布聚焦在靶表面上;和真空腔,其中安裝有靶和基片,并且在 其中可適當調節背景氣體和它們的壓強。
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