本發明公開了一種多晶硅爐用炭/炭復合材料發熱體的制備方法,將U形 炭纖維坯體進行高溫純化預處理后沉積,熱處理溫度為1600~2800℃;將U 形炭纖維坯體以高純N2為載氣和稀釋氣體、C3H6為炭源進行裂解增密制備出炭 /炭復合坯體,裂解溫度850~1200℃,時間100~400h,爐內氣壓0.5kPa~ 2.5kPa;將增密至一定密度的炭/炭復合坯體進行機加工,酸洗+氯鹽洗,進行 高溫純化處理,處理溫度為2000~2800℃;將炭/炭復合坯體以高純N2為載氣 和稀釋氣體、C3H6為炭源進行表面涂層處理,裂解溫度900~1300℃,時間10~ 100h,爐內氣壓1.0kPa~4.0kPa;并測定炭/炭復合材料發熱體成品的技術指 標。本發明能制備出純度高、電阻率隨溫度變化穩定、使用壽命長的大尺寸異 形薄壁炭/炭復合材料發熱體。
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