權利要求
1.鉬合金管靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： 混粉：按鉬合金管靶材中各元素的質量分數分別稱取原料，混合均勻，得到鉬合金粉末；其中，所述鉬合金管靶材，以質量百分比計，包括Ni：10～30％，Ti：5～25％，Re：0.5～5％，M：0-15％，M為Cr、Zr、Ta、Nb中的至少一種，所述M用于替代部分Ti，余量為Mo和不可避免的雜質，且Mo在所述鉬合金管靶材中的質量百分比含量不低于50％； 冷等靜壓成型：將混合后的粉末放入模具中，進行冷等靜壓成形，獲得第一坯料； 熱等靜壓成型：將所述第一坯料進行熱等靜壓成型，獲得第二坯料； 擠壓成型：將所述第二坯料進行擠壓成型，獲得第三坯料； 退火處理：將所述第三坯料進行退火處理。2.如權利要求1所述的鉬合金管靶材的制備方法，其特征在于，還包括： 整形：將所述冷等靜壓成型后的所述第一坯料進行整形； 包套：在所述熱等靜壓成型前，將所述整形后的所述第一坯料放入包套中，抽真空密封； 去除包套：在所述熱等靜壓成型后，將所述第二坯料的所述包套用機加工去除； 機加工：在所述退火處理前，將所述第三坯料進行機加工。 3.如權利要求2所述的鉬合金管靶材的制備方法，其特征在于，所述鉬合金管靶材以質量百分比計，包括Ni：10-30％，Ti：5-25％，Re：1-5％，M：0-5％，所述M為Cr、Zr、Ta、Nb中的至少一種，所述M用于替代部分Ti，余量為Mo和不可避免的雜質，且Mo在所述鉬合金管靶材中的質量百分比含量不低于60％。 4.如權利要求1所述的鉬合金管靶材的制備方法，其特征在于， 所述混粉步驟中，所述原料包括：鉬粉，純度≥3N5，鉬粉的費氏粒度范圍優選為2.5～4μm；鎳粉，純度≥3N，鎳粉的費氏粒度范圍優選為2～3μm；以及鈦源，所述鈦源為鈦粉或氫化鈦，鈦粉的純度≥3N，鈦粉的費氏粒度范圍優選為2～4μm，氫化鈦的純度≥2N，氫化鈦的費氏粒度范圍優選為2～4μm；錸粉，純度≥4N，所述錸粉的費氏粒度優選為2～4μm； 優選地，所述鉬合金管靶材中的鈦元素以鉬鈦合金粉末的形式加入；所述鉬鈦合金粉末是將原料中的部分鉬粉與氫化鈦粉末混合后經還原處理獲得； 優選地，所述鉬鈦合金粉末的鉬鈦質量
聲明：
“鉬合金管靶材的制備方法、鉬合金管靶材和用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：安泰天龍（北京）鎢鉬科技有限公司 安泰天龍鎢鉬科技有限公司 安泰科技股份有限公司
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2025年08月07日 ~ 09日 
