本發明公開了一種基于磁集聚器和納米磁顆粒復合材料的微型磁電容傳感器件,包括SOI基底、兩個磁場集聚器、磁納米顆粒復合材料磁電容敏感單元、左金屬電極板和右金屬電極板;兩個磁場集聚器和磁納米顆粒復合材料磁電容敏感單元位于將SOI基底的頂層低阻Si圖形化刻蝕后的SiO2表面上;兩個磁場集聚器呈左右對稱狀布置;磁納米顆粒復合材料磁電容敏感單元位于兩個磁場集聚器之間的間隙處,該磁納米顆粒復合材料由超順磁納米顆粒和高分子聚合物組成;每個磁場集聚器和磁納米顆粒復合材料磁電容敏感單元之間間隔著左金屬電極板和右金屬電極板。本發明適用于各種場合的磁場測量,尤其適用于深空、深海、深地等高動態磁場應用環境的磁場測量。
聲明:
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