本發明公開了一種微波退火裝置,該裝置包含:殼體;套置于該殼體內的微波退火池;設置在該殼體與微波退火池頂部的頂蓋,用于封閉微波退火池;其中,該微波退火池為包含一中空部的容器,該容器的底部設置有石英坩堝,用于放置退火樣品。本發明提供的微波退火裝置制作成本低,保溫性能好,測溫方便,可以靈活對不同介電常數的物質實現微波退火和燒結;而且,本發明的裝置可以實現平行的微波退火,相較馬弗爐退火,能節約大量的時間。
聲明:
“微波退火裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)