本發明公開了一種紙基MEMS新型超疏水振動傳感器及其制備方法,傳感器包括:紙基框,設置有通孔;紙基塊,位于所述通孔內;4個紙基梁,兩端分別連接所述紙基塊和所述紙基框,在4個紙基梁上分別設置4個微米級V型槽,且4個微米級V型槽內分別設置4個導電層,由于2個微米級V型槽的開口朝向紙基梁的一側,另外2個微米級V型槽的開口朝向紙基梁的另一側。當紙基塊受到力移動時,紙基梁彎曲,則2個微米級V型槽的開口張得更開,對應的導電層的電阻增大,另外2個微米級V型槽的開口趨近于閉合,對應的導電層的電阻減小。采用紙作為基底材料并形成導電層,制備步驟簡單,且成本較低。
聲明:
“紙基MEMS新型超疏水振動傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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