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            > CaCu3Ti4O12薄膜的制備方法

            CaCu3Ti4O12薄膜的制備方法

            838   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 15:05:02
            一種CaCu3Ti4O12薄膜的制備方法,屬于功能材料技術領域。包括以下步驟:1)通過高分子輔助沉積法配制含鈣銅鈦的前驅液;2)將斜切的LaAlO3基片在800~1000℃下熱處理1~6小時,得到表面為臺階結構的基片;3)采用旋涂法將前驅液均勻涂覆于步驟2)處理后的基片表面,烘干,得到含鈣銅鈦的薄膜樣品;4)對上步得到的含鈣銅鈦的薄膜樣品熱處理,隨爐冷卻至室溫,得到CaCu3Ti4O12薄膜。本發明通過不同斜切角度的斜切基片調控CCTO薄膜的應力,使得制得的薄膜的介電損耗明顯降低;且方法簡單,成本低廉,具有良好的工藝可控性和重復性,有利于大規模批量化生產。
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