本發明屬于先進制造技術領域,提供了一種激光輔助電噴射原位打印制造方法?!肮δ懿牧夏痹趬毫ψ饔孟聫膰娽樋诹鞒?,由于電流體動力學效應作用,形成穩定的泰勒錐噴射出穩定的精細射流,噴射在基體上形成打印層。同時,激光能量器用來對打印層進行復合處理,發射激光束并按照打印軌跡照射在打印層上,在原位同步實現打印結構的高溫固化、結晶等功能化處理。本發明直接在基體上原位實現功能結構與器件,消除了傳統方法轉印、粘貼、拼接等二次定位誤差難題,避免了膠粘工藝引發的結合力弱、靈敏度低等問題,并借助電噴射高分辨率打印優勢,可以減小功能單元特征尺寸。本發明提高了打印單元結構的尺寸精度和結合強度,進而提高了器件的靈敏度和穩定性。
聲明:
“激光輔助電噴射原位打印制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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