本發明提供一種在通過噴出功能材料而形成功能膜的過程中,可以有效防止其變質的有機EL裝置的制造方法及其制造裝置、以及有機EL裝置、電子機器、液滴噴出裝置。在使導入了發光功能材料的功能液滴噴頭7相對于基板W進行掃描、選擇性地噴出發光功能材料,在基板W上的多個像素區域中分別形成有機EL功能層的有機EL元件的制造方法中,噴出發光功能材料的噴出工藝在惰性氣體環境中進行。
聲明:
“有機EL裝置及其制造方法和制造裝置、及液滴噴出裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)