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            > 鋁鈧合金靶坯及其制備方法及應用

            鋁鈧合金靶坯及其制備方法及應用

            840   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 15:02:03
            本發明涉及一種鋁鈧合金靶坯及其制備方法及應用。其中,鋁鈧合金靶坯包括:16?50重量份的鈧,50?84重量份的鋁,鋁鈧合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述鋁鈧合金靶坯具有鈧含量高、含氧量低,進而使得制備的靶坯不會發生異常放電或粒子濺疤,能夠保證后期高品質成膜。
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            “鋁鈧合金靶坯及其制備方法及應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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