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            高致密低電阻氧化鈮旋轉靶材及其制備方法

            1268   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 14:58:54
            一種高致密低電阻氧化鈮旋轉靶材及其制備方法,該靶材密度≥4.5g/cm3,電阻率≤1.4×10?3Ω·cm,長度≥400mm,壁厚6—14mm。制備方法包括以下步驟:1)粉末混合:將氧化鈮粉末與金屬鈮粉進行機械混合均勻;2)粉末預燒:對步驟1)中混合后粉末進行真空預燒;3)粉末處理:對預燒粉末進行球磨處理;4)冷等靜壓成型:對處理粉末裝入模具中冷等靜壓預壓成型旋轉靶材坯體;5)坯體車削加工:對靶材坯體進行車削加工;6)真空熱壓燒結:對加工坯體置入石墨模具中進行熱壓真空燒結;7)靶坯加工:對燒結旋轉靶材靶坯按尺寸加工,即得到高致密低電阻旋轉氧化鈮靶材。該靶材導電性較好,具有較好的物理和化學性能,有效提高靶材產品質量。
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