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            抗粉化塊體吸氣劑的制備方法

            1078   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 14:58:54
            本發明公布了一種抗粉化塊體吸氣劑的制備方法,所述方法包括如下步驟:將吸氣合金中的原料按一定比例進行配制,通過熔煉的方法制備成合金,然后對合金在保護氣氛下進行破碎和球磨;將吸氣合金粉末與0.1~70%wt%鈦及鈦合金纖維均勻混合形成合金混合物;將上述合金混合物在鋼性模具中進行壓制形成壓坯;在真空度為3~5×10?3 Pa的真空環境下,對壓坯進行真空燒結,即可得到抗粉化能力強的塊體吸氣劑。本發明產生的塊體吸氣劑產品,在MEMS晶元級封裝中具有較好的韌性,克服了產品使用過程中掉粉掉渣的現象,能夠維持晶元封裝后在振動環境下較好的真空度,有利于延長使用壽命,并且結構設計簡單,適合大批量生產,可以有效地滿足用戶的需求。
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            “抗粉化塊體吸氣劑的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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