本發明實施例提供一種鈣鈦礦薄膜光電晶體管及其制備方法,所述鈣鈦礦薄膜光電晶體管包括:覆蓋有二氧化硅的硅襯底,所述硅襯底上表面的中間部分覆蓋有金屬氧化物層,所述金屬氧化物層上的兩端鍍有源漏金屬電極,中間為有機無機雜化鈣鈦礦層,所述硅襯底的上方設有一層鈍化層,所述的鈍化層將所述金屬氧化層、所述有機無機雜化鈣鈦礦材料層全部覆蓋。本發明可以將金屬氧化物半導體與有機無機雜化鈣鈦礦相結合,并且制備工藝簡單,器件成功率高,具有響應快速、寬光譜光探測的極大潛力。
聲明:
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