采用真空燒結工藝制備金屬鎢及釩鎢合金靶材,制備工藝流程步驟依次為:選取純度≥99.95%,粒度≤5μm的金屬鎢粉或釩鎢合金粉為原料,使用造粒設備將其制成1~3mm粒子,填入模具內振實;等靜壓壓制成型,真空燒結完成后,靜置冷卻獲得靶材成品;粉體先制粒后等靜壓燒結,工藝簡單易行,操作方便,易控制;制備所得的靶材濺射性能優良,雜質少,靶材均勻性好,穩定性高。滿足熱致變色應用,也適用于光學鍍膜。
聲明:
“采用真空燒結工藝制備金屬鎢及釩鎢合金靶材” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)