本發明公開了一種光電探測器陣列制備方法,屬于光電材料與器件技術領域,目的在于解決鈣鈦礦薄膜器件小型化、圖形化的問題。其包括以下步驟:S1、首先對石英玻璃基底進行清洗,再對其表面進行處理;S2、對組分為Ti3C2Tx的MXene膠體溶液進行制備,并將制備好的MXene溶液旋涂在S1處理后的石英玻璃基底上成膜;S3、用激光直寫對S2中得到涂覆有MXene薄膜的石英玻璃基底進行第一次溝道刻劃;S4、在S3處理后的石英玻璃基底上制備鈣鈦礦吸收層;S5、采用激光直接對S4處理后的樣品進行第二次刻劃,去移除多余的鈣鈦礦吸收層;S6、采用激光直寫對S5處理后的樣品進行第三次刻劃,分離出像素單元,形成鈣鈦礦成像陣列。本發明適用于光電探測器陣列制備方法。
聲明:
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