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            > 濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法

            濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法

            1191   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 14:51:16
            本發明公開了一種濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法,包括1)取粉末冶金燒結鉬板坯,加熱至1485~1495℃,以48~52m/min的軋制速度進行二火次六道次熱軋得鉬板A;2)取鉬板A,以38~42m/min的軋制速度進行三道次冷軋,退火得鉬板B;3)取鉬板B加熱至845~855℃,以90~100m/min的軋制速度進行軋制,后進行平整,即得。本發明的軋制方法,所得鉬板帶成品規格較大,純度高,密度大,晶粒間隙小,致密度均勻,平均晶粒尺寸小,各向異性小晶粒均勻,表面平直度高,具有優異的表面質量和使用性能,滿足了大型化和高精細化LCD面板制造用濺射鉬靶材對規格和使用性能的要求,適合推廣應用。
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            “濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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