制備(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-納米晶耐磨耐蝕復合涂層的工藝,步驟為:首先進行雙陰極等離子濺射沉積;然后進行離子氮化;濺射的靶材的種類:以熱等靜壓工藝制備的成分質量配比為Ti:B:Al=6:3:1粉末冶金燒結板;工件材料的種類:鈦合金。本發明利用雙陰極等離子濺射技術,通過調整靶材的成分和氣體之間的比例,實現了原位生成(Ti,Al)BN非晶-納米晶復合涂層。簡化了制備工藝,提高了涂層整體性能。
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