權利要求
1.波長大范圍可調節的VCSEL激光器陣列，其特征在于，包括若干個VCSEL激光器，各VCSEL激光器圓周上設有一個環形的加熱器，各加熱器的分別連接到獨立可控電流，通過控制輸入到各加熱器的電流大小來調整各VCSEL激光器的溫度，各VCSEL激光器的出射激光波長依次連續。2.根據權利要求1所述的波長大范圍可調節的VCSEL激光器陣列，其特征在于，各VCSEL激光器具有不同的固有熱阻，并根據固有熱阻大小依次排列。 3.根據權利要求1所述的波長大范圍可調節的VCSEL激光器陣列，其特征在于，各VCSEL激光器的驅動電源相互獨立，通過調節驅動電流大小來調整出射激光波長。 4.根據權利要求1所述的波長大范圍可調節的VCSEL激光器陣列，其特征在于，所述加熱器為采用半導體材料制備。
說明書
波長大范圍可調節的VCSEL激光器陣列
技術領域
本發明涉及一種波長大范圍可調節的VCSEL激光器陣列。
背景技術
垂直腔面發射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, VCSEL)具有體積小、相應頻帶寬、溫度漂移小、閾值電流低、單縱模出射、發散角小、調制速率高、出射激光為圓形光斑易與光纖耦合、封裝簡單易于二維集成、工作壽命長等優越性能，在光纖通信、原子鐘、3D傳感、汽車雷達等領域的應用前景被十分看好。垂直腔面發射激光器的激光垂直于芯片表面從頂面或底面射出，出射方向由激光波長決定。
VCSEL的結構中有上、下兩個分布式布拉格反射鏡（DBR），分成反射區和出射區，反射區具有99.9%以上的反射率，出射區具有99%以上的反射率，這種差異決定最終波長的出射位置。上、下分布式布拉格反射鏡將有源層包裹在中間，構成的激光諧振腔使得在與腔體相垂直的方向上讓往復運動的光產生諧振放大，最終達到閾值出射激光。DBR由多種折射率差別很大且晶格常數匹配的材料層疊而得，常用的是將GaAs和AlAs交替層疊。在這種DBR中，最好使得能量帶隙大于諧振波長，以避免光被吸收。
伴隨著VCSEL在密集波分復用(Dense wavelength division multiplexing,DWDM)光纖通信系統的大規模應用，業界對波長可調諧VCSEL的需求
聲明：
“波長大范圍可調節的VCSEL激光器陣列” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：深圳市中科光芯半導體科技有限公司
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2025年07月24日 ~ 26日 
