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            真空感應熔煉去除硅中磷雜質的方法

            1101   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 14:33:28
            真空感應熔煉去除硅中磷雜質的方法,涉及一種硅提純方法。提供一種真空感應熔煉去 除硅中磷雜質的方法。將多晶硅放入坩堝中,抽真空,預熱后關閉粗抽閥,開啟擴散泵閥門 抽真空,接通中頻感應加熱電源,坩堝開始感應生熱,對坩堝內的硅原料進行低溫預熱,當 溫度上升到600℃時,硅自身感應生熱;增加中頻加熱功率為50~200kW,當溫度達到1415℃ 以上時,硅開始熔化;熔化后,調節中頻加熱功率,使硅液溫度控制在1550~1850℃;待溫 度穩定后,將真空度控制在1.2×10-2~1.0×10-1Pa;開始計時,保溫時間為45~120min;在 水冷銅盤中通入循環水,然后將熔煉完成的硅液澆注入模具中,快速凝固,即完成。
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