本發明是一種鎳氫電池用多層薄膜電極及其制 備方法,薄膜電極由基體薄膜和保護膜組成,基體薄膜的主要 成分為鎂和鎳,化學組成為Mg[p-x]A[x]Ni[1-y]B[y],保護膜 為催化保護膜Pd、Pt、Ag、Au、Co、C[1-r]Mg[r]Ni[t-q]D[q]中的一種 或二元或多元合金。該制備方法是首先用感應熔煉或粉末冶金 方法預制合金靶,然后用物理氣相沉積方法在基片上制成基體 薄膜,在基體薄膜表面沉積催化保護膜,重復以上步驟得到多 層薄膜。該薄膜可用于鎳氫電池負極,特點是薄膜晶粒細小, 具有很大的比表面積,大電流放電性能好,納米多層復合具有 復合增強效應和多重催化作用,電極使用壽命長;可以集成在 微機械器件中,為微器件的發展提供動力支持。
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