權利要求
1.一種鉬銅熱沉材料的制備方法，其特征在于，該制備方法步驟如下：
S1、選取原料：鉬棒材、銅漿料，準備好模板;
S2、排列模板：將鉬棒材排列在模板;
S3、包裹模板：將排列有鉬棒材的模板四周進行包裹，形成頂部開口的型腔;
S4、澆筑銅漿料：向型腔中澆筑銅漿料，常溫下流平，真空脫泡;
S5、定型脫模：將模板和材料低溫固化定型，定型后脫模，得到1-3型結構鉬銅復合材料的坯料;
S6、氣氛燒結：將1-3型結構鉬銅復合材料的坯料進行氣氛燒結，得到一種鉬銅熱沉材料即1-3型結構鉬銅復合材料。
2.權利要求1所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法，其特征在于，步驟S1中，所述鉬棒材為方柱形，純度不低于99.95%;所述銅漿料，粘度50-250pa.s，方阻≤1.5mΩ/sq。
3.如權利要求2所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法，其特征在于，步驟S2中，所述模板的材質為聚四氟乙烯，且模板上層有方形下沉通道;所述鉬棒材呈垂直模板方向置于方形下沉通道。
4.如權利要求3所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法，其特征在于，步驟S3中，所述包裹材料為聚四氟乙烯，高度等同于鉬棒材。
5.如權利要求4所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法，其特征在于，步驟S4中，所述流平的溫度25℃，時間5-20min，真空脫泡時間30-120min。
6.如權利要求5所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法，其特征在于，步驟S5中，所述低溫固化定型為使用隧道爐烘干，溫度150℃，時間10-15min。
7.如權利要求6所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法，其特征在于，步驟S6中，所述氣氛燒結為使用氮氣氣氛燒結爐，峰值溫度為950℃，峰值時間為10-20min。
8.如權利要求7所述的一種分級多孔碳銅復合材料的制備方法，其特征在于，所述步驟S6之后，還有步驟S7;所述步驟S7為層狀單元分割即將燒結后1-3型結構鉬銅復合材料進行層狀單元分割，得到超薄鉬銅熱沉材料;所述層狀單元分割為線切割，且單層材料厚度為0.1～2mm。
9.如權利要求3所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法，其特征在于，步驟S1、S2中，所述鉬棒材還可為圓柱形
聲明：
“鉬銅熱沉材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：長沙升華微電子材料有限公司
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2025年07月18日 ~ 20日 
