1.本實用新型涉及一種半導體薄片干燥搖擺裝置，屬于半導體技術領域。
背景技術：
2.現有的半導體薄片干燥主要是靜態干燥，通過ipa慢提拉原理對晶圓干燥，由于減薄過的晶圓片厚度70-300um，翹曲非常厲害，且易碎。這種情況下，不適合通過機械手把晶圓片全部頂出花籃，也就不能實現晶圓片與花籃完全分離。所以，晶圓片與花籃接觸部分殘留的水跡不能通過ipa完全干燥，只能依靠熱氮來干燥。由于晶圓片和花籃接觸的地方沒有縫隙，水分干燥比較困難，所需的熱氮溫度高，干燥時間長，干燥效率不高。
技術實現要素：
3.本實用新型的目的是針對上述現有技術的不足，提供一種半導體薄片干燥搖擺裝置，以解決花籃和半導體薄片接觸部分水分不易干燥問題，提高半導體薄片的干燥效率。
4.本實用新型的技術方案如下：
5.一種半導體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，包括水槽、置放花籃的搖擺框、機架以及安裝于機架的伺服電機、絲杠機構、主動滑塊、從動滑塊，所述花籃的半導體薄片插槽厚度大于半導體薄片的厚度；所述機架安裝于水槽一側，所述伺服電機通過皮帶輪、皮帶與絲杠機構的絲桿驅動連接；
6.所述主動滑塊與絲桿螺紋配合，且與機架豎直滑動配合，所述從動滑塊與所述機架豎直滑動配合，所述從動滑塊位于主動滑塊下方，所述機架設有與主動滑塊、從動滑塊滑動配合的導軌；所述從動滑塊還設有牽引機構和鎖緊機構；所述主動滑塊通過搖臂機構與所述搖擺框相連，所述從動滑塊通過提升臂機構與搖擺框相連；
7.采用上述方案，所述牽引機構通過鎖緊機構與主動滑塊鎖緊，主動滑塊與從動滑塊運動同步，伺服電機驅動絲杠機構，使主動滑塊沿機架豎直滑動，帶動從動滑塊、搖擺框上行或下行，繼而使搖擺框內、載有半導體薄片的花籃離開或進入水箱內；
8.或者，搖擺框位于水箱內時，所述牽引機構通過鎖緊機構與主動滑塊分離，伺服電機驅動絲杠機構，所述主動滑塊帶動搖擺框搖擺，使半導體薄片傾斜并與所在插槽槽壁之間形成間隙，以便于薄片的充分干燥。
9.進一步的，所述搖臂機構包括連桿一、連接塊、一對平行而置的z型桿、固定桿一；所述固定桿一固接于搖擺框后部，一對z型桿的一端共同鉸接于固定桿，另一端共同鉸接于連接塊，所述連接桿一的兩端分別連接主動滑塊、連接塊。
10.所述提升臂機構包括一對連桿二、提升框架；一對連桿二的兩端分別連接從動滑塊、提升框架，所述搖擺框的中部設有固定桿二，所述
聲明：
“半導體薄片干燥搖擺裝置的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：揚州思普爾科技有限公司
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2025年07月18日 ~ 20日 
