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本方案提供一種PVD埃米金薄膜載體及其制備方法，涉及合金靶材技術領域，包括以下步驟：在基片玻璃反面激光標號；將基片玻璃依次進行超聲波清洗、烘干、消毒、等離子清洗；將基片玻璃真空鍍金屬層，所述金屬層為鈦層和/或金層；鍍層后的玻璃切割、包裝，得到PVD埃米金薄膜載體。本方案在基片玻璃在真空環境中鍍上一層純鈦金屬阻擋層阻隔玻璃中的微量元素對待檢標志物的破壞；再鍍上純金金屬層，金具有高電子密度、介電特性和催化作用，能與多種生物大分子結合，且不影響其生物活性。

本發明公開了一種多節點協同的多層復合薄膜材料制備方法及裝置，涉及材料制備技術領域，該方法包括：將多層復合薄膜制備工藝流程作為圖節點構建工藝圖結構，以工藝流程間物理參數聯系為邊，按時序關系設約束條件并擬合至邊中，約束節點到下游節點延遲時間。依時序約束確定工藝順序，各節點通過邊傳遞上游特征信息并聚合，結合自身特征生成新節點特征，再根據新特征解析獲得節點制備參數。解決了現有多層復合薄膜制備中各工藝流程節點獨立、缺乏時序約束，降低了制備均勻性、產品質量穩定性的技術問題