特性 |
典型值 |
測試方法 |
平均層數 |
≤10 |
光學顯微分析 |
片徑 |
1~20μm |
光學顯微分析 |
薄膜電導率 |
≥300S/cm |
四探針測試 |
碳氧比 |
6~10 |
X射線光電子能譜 |
水分 |
≤3.0% |
烘干法 |
灰分 |
≤1.0% |
高溫灼燒 |
外觀 |
黑灰色 |
目測 |