主要配置 |
技術參數 |
機械泵 |
抽氣速率:10m3/h 容油量:1.1L 電機功率:400W 極限壓強:6×10-2Pa |
分子泵 |
抽氣速率:100L/S 極限壓強:6×10-6Pa 額定轉速(rpm):4300; 環境溫度5-32℃時分冷,5-40℃時看水冷。 電壓:220V±22V
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復合真空計 |
測量路數:2路(電阻規、電離規各1路) 工作模式:手動/自動 電阻單元參數 規管型號:ZJ-52T電阻規 測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數 規管型號:ZJ-27電離規 可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa 規管除氣方式:焦耳去氣 其他參數 控制精度:±1% 采樣時間:1S 電源:220V±10% 50HZ 功耗:50W 使用環境溫度:0℃~45℃ 濕度:≤85% |
連接管路 |
采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s |