工作原理
MHT3采用金剛石壓頭(錐角120°或140°可選)在樣品表面施加垂直載荷(0.1μN-300mN可調),并通過高精度壓電陶瓷驅動壓頭沿預設路徑(直線、曲線或往復運動)劃動,劃痕長度范圍0.1μm-50mm。測試過程中,集成式傳感器實時采集劃痕力(法向力與切向力)、壓頭位移及聲發射信號,結合高分辨率光學顯微鏡(可選配原子力顯微鏡AFM模塊)觀察劃痕形貌,通過專用軟件(MHT3 Analyzer)計算臨界載荷(Lc)、摩擦系數、涂層結合強度等參數,實現劃痕過程的全動態監測與力學機制解析。
應用范圍
覆蓋微電子、新能源、生物醫學、航空航天及先進制造等領域。微電子行業用于評估集成電路封裝材料、柔性顯示屏基板的耐刮擦性;新能源領域分析鋰電池電極涂層、燃料電池催化劑層的附著力;生物醫學領域測試醫用植入物表面涂層(如鈦合金氧化層)的耐磨性;航空航天領域研究渦輪葉片熱障涂層、復合材料結構的界面結合強度;先進制造領域可優化刀具涂層、模具表面處理的工藝參數。
技術參數
垂直載荷范圍0.1μN-300mN,分辨率0.1μN;水平位移范圍0.1μm-50mm,速度0.01μm/s-10mm/s;壓頭錐角120°/140°可選;光學系統分辨率≤0.1μm(標準配置),AFM模塊可達納米級三維形貌重建;測試環境控制支持溫度(-20℃至200℃)及濕度調節;數據采集頻率≥50kHz,支持力、位移、聲發射、形貌四通道同步采集。
產品特點
超寬載荷范圍(0.1μN-300mN)與納米級位移精度,滿足從超薄薄膜到厚涂層的測試需求;多參數同步檢測與原位形貌觀察,實現劃痕機制的全維度解析;模塊化設計支持快速更換壓頭、夾具及環境控制模塊,適配不同材料與測試條件;用戶友好型軟件提供自動化測試流程、智能數據后處理及定制化報告生成功能,顯著提升測試效率與結果可靠性。MHT3以“高精度、多功能、易擴展”為核心優勢,成為微納尺度材料力學性能研究的標桿儀器。