工作原理
XDAL600采用全反射X射線熒光光譜技術,通過微聚焦X射線管發射高強度、單色化的X射線束,以極小入射角(低于臨界角)照射樣品表面,使X射線在樣品-空氣界面發生全反射,激發鍍層或薄膜材料中的特征X熒光。高純鍺探測器(HPGe)或硅漂移探測器(SDD)捕獲熒光信號,經多道分析器(MCA)轉化為能譜圖,結合標準樣品庫與智能算法,精準解析鍍層厚度(0.001μm-10μm)及元素組成(Na-U)。設備內置自動校準系統與背景噪聲抑制技術,可消除基材干擾,實現單層、多層鍍層的非破壞性檢測。
應用范圍
覆蓋多領域的超薄鍍層分析需求:半導體芯片銅互連層厚度控制、5G通信器件銀漿印刷層均勻性篩查、鋰電池正極材料鈷酸鋰薄膜成分分析、醫療器械鈦合金表面氮化鈦(TiN)防腐鍍層檢測等。其支持導電與非導電樣品檢測,適配從微電子元件到大型曲面部件的檢測需求,尤其適合研發實驗室高精度分析與生產線在線抽檢場景,助力企業突破納米級鍍層質量控制的技術瓶頸。
技術參數
X射線管電壓5-50kV可調,微聚焦光斑直徑≤50μm;探測器類型可選高純鍺(HPGe,分辨率≤120eV@Mn Kα)或硅漂移探測器(SDD,分辨率≤145eV@Mn Kα);測量范圍0.001μm-10μm,重復性≤0.5%(標準樣品);元素分析范圍Na(鈉)-U(鈾),檢出限低至0.01ppm;樣品艙尺寸200×150×30mm,支持異形件檢測;數據接口包括USB 3.0、以太網及WiFi,兼容Excel/CSV格式導出與LIMS系統直連;設備尺寸450×400×550mm,重量65kg,配備萬向輪與可調支腳,便于實驗室靈活部署。
產品特點
全反射技術實現亞納米級厚度分辨率,較傳統ED-XRF精度提升10倍;智能元素識別算法支持自動匹配500+種材料庫,操作門檻降低60%;一鍵生成ISO/ASTM標準合規報告功能,通過藍牙連接打印機或移動終端直接輸出檢測結果;多層鍍層解析速度≤3秒/點,較傳統方法效率提升5倍;全封閉式鉛屏蔽艙搭配實時輻射監測系統,安全性獲TüV萊茵認證,助力企業實現超薄鍍層檢測的精準性、效率與安全性的三重突破。