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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            化學機械拋光機

            化學機械拋光機

            379
            規格/型號:CMP20
            品牌:納騰
            應用領域:加工設備
            產地:上海 - 上海
            廠家/供應商:上海納騰儀器有限公司
            咨詢電話::021-6428 3335(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-07
            級別:待認證

            化學機械拋光機說明介紹

            CMP20化學機械拋光機

            CMP20化學機械拋光機


            通過將產品固定在拋光頭的較下面,拋光時,旋轉的拋光頭以一定的壓力壓在旋轉的拋光墊上,拋光液在拋光墊的傳輸和離心力的作用下,均勻分布其上,在硅片和拋光墊之間形成一層拋光液液體薄膜。拋光液中的化學成分與產品表面材料產生化學反應,將不溶的物質轉化為易溶物質,或者將硬度高的物質進行軟化,然后通過磨粒的微機械摩擦作用將這些化學反應物從產品表面去除,溶入流動的液體中帶走,即在化學去膜和機械去膜的交替過程中實現平坦化的目的,通過先進的工藝可實現納米級別的粗糙度效果。

            技術參數:

            基礎配置:

            拋光頭模塊:氣膜加壓,六個分區較為立控制

            摩擦力模塊:利用電機電流表征摩擦力

            樣品加工能力:2/4/6英寸

            拋光實現方式:觸屏程序控制

            拋光頭下壓力:0~4 psi(4英寸)

            拋光頭轉速:0~300 rpm,連續可控

            拋光盤轉速:0~300 rpm,連續可控

            修整器轉速:0~300 rpm,連續可控

            拋光頭/修整器往復:行程90 mm,速度連續可控

            拋光液:1路,蠕動泵供液,流速0~300 mL/min

            去離子水:1路,蠕動泵供液,流速0~300 mL/min

            升級配置:

            電化學模塊:電位范圍±10 V,電流范圍±250 mA,支持三電較為、兩電較為體系,支持多種測量方法,如循環伏安法等。

            紫外光模塊:波長λ=95 nm的紫外光源、發光面積1020*100(mm)、耗電功率200W、相對光效2000W、能量峰值614mW。

            案例

            空白晶圓

            銅圖案化晶圓

            銅/MEMS晶圓

            金屬基底

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            上海納騰儀器有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            加工設備
            企業性質:
            -
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