臺式納米顆粒沉積系統(納米團簇)
該系統是一種臺式真空系統,可將超純非團聚納米顆粒直接沉積到直徑達 50 毫米的任何表面上。專為共享研究或教學實驗室而設計,學生和研究人員可以在各種納米技術項目中并行使用,而不必擔心交叉污染。應用包括催化、光子學、
儲能、傳感器和生命科學。
主要特點
沉積無烴和非團聚的納米顆粒
從亞單層到高孔隙率 3-D 納米涂層
表面等離子體清潔和功能化
生成純金屬或化合物納米顆粒,如氧化物和氮化物。
多種材料可供選擇,包括 Ag、Au、Cu、Ni、Ir 和 Pt
使用石英晶體微量天平 (QCM) 進行實時沉積控制
可重復的工藝,典型循環時間為 30 分鐘
規格
重量:約 60 公斤(113 磅)
尺寸 :(長x寬x高)70 x 50 x 60 厘米(27.6x 19.7 x 23.6 英寸)
消耗品
目標大小 :直徑 1 英寸(25.4 毫米),最大厚度 3 毫米
最大采樣量: 直徑 50 毫米
材料 :導電材料,包括 Ag、Au、Pt、Cu、Ni、Ti、Ir
控制軟件
直觀的用戶界面易于使用,不需要任何真空經驗。預裝的沉積配方使用戶能夠立即開始沉積納米顆粒。
突出
抽真空和沉積序列的完全自動化。
針對 Au、Ag 和 Pt 等常見材料的預加載優化沉積設置。
高級用戶可以選擇控制沉積條件,以根據他們的特定需求控制納米顆粒的尺寸和沉積速率。
使用沉積重量或沉積時間控制納米顆粒負載。
自動記錄所有過程和真空參數。