設備名稱
光注入退火爐
設備型號
SC-LED05L/RA
深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司光注入退火爐設備用途
調節電池片費米能級變化,控制H總量及價態,提高H鈍化與缺陷修復效率,達到降低P型電池衰減效應,提高N型電池轉換效率的效果。
深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司光注入退火爐工藝流程
預熱→光注入→冷卻
深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司光注入退火爐技術特點
1、雙軌產線,機架電氣完全獨立,互不干擾。
2、大產能:匹配絲印工序產能,CT≤0.80秒,基于硅片尺寸M10(18X±0.5mm*18X±0.5mm)。
深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司光注入退火爐設備參數
型號 Model:SC-LED05L/RA
硅片尺寸(mm)Wafer Size:156/166/18X/210/230可選optional
Uptime:≥99%
破片率 Breakage Rate:≤0.01%
外形尺寸(mm) Footprint:11600 (L)x1300 (W) x2220 (H)(不含排廢,指示燈Excl. exhaust & indicator light )
產能 Throughput:≥4500片/小時、≥4500Pcs/h
功率消耗 Power Consumption:≤50KWx2臺