臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)
臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)是一款專為以
硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層和基體改性工藝設計的高端設備。該設備采用先進的控制技術,能夠精密控制MTS流量和壓力,確保爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動小。其特殊結構的沉積室密封性好,抗污染能力強,多通道沉積氣路設計實現流場均勻,無沉積死角,沉積效果優異。此外,設備配備專用防腐蝕真空機組,可有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,持續工作時間長,維修率極低。主要配置包括多種爐門升降方式、全碳鋼或不銹鋼爐殼、軟碳氈或石墨氈爐膽、等靜壓石墨加熱器,以及先進的工藝氣路系統和高精度熱電偶,最高溫度可達1500℃,溫控精度為±7.5℃,滿足高精度化學氣相沉積工藝需求。
核心參數
非金屬電熱元件:其他
金屬電熱元件:其他
燒結氣氛:真空
溫控精度:±7.5
最高溫度:1500
額定溫度:1500
化學氣相沉積爐(碳化硅)可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
技術特征
☆ 采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍??;
☆ 采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
☆ 采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
☆ 對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理;
☆ 采用**設計防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率極低。
產品規格
主要配置
☆ 爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降;旋轉移開/平行移開(大尺寸爐門);手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
☆ 爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
☆ 爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
☆ 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
☆ 工藝氣路系統:體積/質量流量計
☆ 熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號