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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            > 臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)

            臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)

            臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)

            541
            規格/型號:HCVD-060609-SIC
            品牌:頂立科技
            應用領域:冶金
            產地:湖南 - 長沙
            廠家/供應商:湖南頂立科技股份有限公司
            咨詢電話::4006770098(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-02-19
            級別:待認證

            臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)說明介紹

            臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)

            臥式化學氣相沉積爐(碳化硅


            臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)是一款專為以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層和基體改性工藝設計的高端設備。該設備采用先進的控制技術,能夠精密控制MTS流量和壓力,確保爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動小。其特殊結構的沉積室密封性好,抗污染能力強,多通道沉積氣路設計實現流場均勻,無沉積死角,沉積效果優異。此外,設備配備專用防腐蝕真空機組,可有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,持續工作時間長,維修率極低。主要配置包括多種爐門升降方式、全碳鋼或不銹鋼爐殼、軟碳氈或石墨氈爐膽、等靜壓石墨加熱器,以及先進的工藝氣路系統和高精度熱電偶,最高溫度可達1500℃,溫控精度為±7.5℃,滿足高精度化學氣相沉積工藝需求。

            核心參數

            非金屬電熱元件:其他

            金屬電熱元件:其他

            燒結氣氛:真空

            溫控精度:±7.5

            最高溫度:1500

            額定溫度:1500

            化學氣相沉積爐(碳化硅)可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。

            技術特征

            ☆ 采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍??;

            ☆ 采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

            ☆ 采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

            ☆ 對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理;

            ☆ 采用**設計防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率極低。

            產品規格

            主要配置

            ☆ 爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降;旋轉移開/平行移開(大尺寸爐門);手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊 

            ☆ 爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

            ☆ 爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC

            ☆ 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

            ☆ 工藝氣路系統:體積/質量流量計

            ☆ 熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號

            臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)
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            湖南頂立科技股份有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            冶金
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
            4006770098
            詳細地址:
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