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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            高真空電子束熱蒸發系統

            高真空電子束熱蒸發系統

            452
            規格/型號:暫無
            品牌:歐特
            應用領域:冶金
            產地:遼寧 - 沈陽
            廠家/供應商:沈陽歐特真空科技有限公司
            咨詢電話::13998100263(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-02-17
            級別:待認證

            高真空電子束熱蒸發系統說明介紹

            高真空電子束熱蒸發系統

            高真空電子束熱蒸發系統 E-Beam


            高真空電子束熱蒸發系統(E-Beam)是冶金和材料科學領域中一種精密的真空鍍膜設備。該系統利用電子束蒸發源技術,能夠實現高效率和高精度的材料蒸發與沉積,適用于制備各種金屬、合金以及化合物薄膜。在冶金行業中,這種系統特別適用于高性能材料的制備,如高溫合金、磁性材料、光學涂層和電子材料等。

            一、 設備主要功能及組成

            1. 設備主要由高真空獲得與測量系統、樣品臺或工件轉架系統、電子束蒸發源系統及電氣控制系統等四部分組成。

            2. 高真空機組采用復合分子泵和機械泵組成。

            3. 樣品臺或工件轉架系統可根據工藝需要靈活定制所需功能。

            4. 電子束蒸發源系統采用E型電子槍,270°束偏角,具有XY掃描功能,能實現坩堝內材料均勻熔煉。

            5. 標配膜厚控制儀,進行在線測量和監控。

            6. 電氣控制系統具有多種報警功能,能及時提示故障情況,保障設備安全運行。

            二、 主要技術參數

            1. 真空室尺寸:EB500、EB600(定制)

            2. 極限真空度:≤6.7×10-5Pa

            3. 漏率:≤10-7 Pa?L/s

            4. 電子槍電源功率:6Kw

            5. 電子槍高壓:6KV / 8KV可轉換

            6. 最大電子束流:750mA

            7. 坩堝容積:20ml(可定制)

            8. 樣品臺:可在線升降、旋轉、襯底加熱

            9. 工件轉架:行星式工件架,公轉自轉,增強鍍膜均勻性,可加熱

            10. 可選配工藝系統:手套箱工作站、樣品預處理室、自動樣品庫等

            11. 供電電源:380V 50Hz(三相五線制)

            12. 進水排管徑:DN25

            13. 工作水壓:0.2Mpa

             
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            沈陽歐特真空科技有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            冶金
            企業性質:
            -
            經營范圍:
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