1200℃RTP退火爐
產品型號:CY-RTP1000-Φ300-T
簡單介紹:
1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現真正的基底溫度測量,不需要采用傳統快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及知名科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇
詳情介紹:
1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現真正的基底溫度測量,不需要采用傳統快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及知名科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇。
技術特色:
? 真正的基片溫度測量,無需傳統的溫度補償
? 紅外鹵素管燈加熱
? 極其優異的加熱溫度**性與均勻性
? 快速數字PID溫度控制
? 不銹鋼冷壁真空腔室
? 系統穩定性好
? 帶觸摸屏的PC控制
? 兼容常壓和真空環境,真空度標準值為5×10-3Torr,采用二級分子泵真空度低至5×10-6Torr
? *高3路氣體(MFC控制)
? 沒有交叉污染,沒有金屬污染
技術參數: