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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            快速升溫CVD系統

            快速升溫CVD系統

            480
            規格/型號:RTP-1000-F3LV
            品牌:科晶智達
            應用領域:冶金
            產地:廣東 - 深圳
            廠家/供應商:廣東科晶智達科技有限公司
            咨詢電話::無(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-01-26
            級別:待認證

            快速升溫CVD系統說明介紹

            快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV

            快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV


            型號:RTP-1000-F3LV

            產地:廣東

            產品介紹

            快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV是專為半導體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達3″ )的退火而設計,配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱,最快升溫速度可達 100℃/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

            產品型號

            快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV

            安裝條件
            本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

            1、水:不需要。

            2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

            3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源

            4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

            5、通風裝置:需要

            主要特點

            1、雙層Al2O3纖維鋼構,無需水冷或風冷。

            2、內爐膛表面涂有進口高溫氧化涂層,可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

            3、PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序,并設有過熱保護和斷偶功能。

            4、已通過CE認證。

            技術參數

            1、電源:單相208V-240V AC 50/60Hz 9KW

            2、石英管:外徑?110mm,內徑?103mm,長380mm

            3、加熱元件:紅外燈管,直徑?10mm,長300mm

            4、加熱區:300mm

            5、工作溫度:最高溫度1100℃

            6、控溫精度:±0.5℃

            7、最高升溫速度:RT-800℃時為50℃/s,800℃-1000℃時為10℃/s

            8、溫控儀:可控硅(SCR)PID自動控制

            9、真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷,循環水流量為0.5m3/hr

            10、真空度:10-3torr

            11、流量計:3個,量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS

            產品規格

            尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統600mm×600mm×597mm

            重量:爐體45kg,真空混氣系統30kg

            可選配件

            防腐型數字式真空顯示計
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            廣東科晶智達科技有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            冶金
            企業性質:
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            經營范圍:
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