雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS
型號:OTF-1200X-4-C4LVS
產地:廣東
產品介紹
雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統,是專為在金屬箔上生長薄膜而設計的,特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機可通過滑動爐體,實現快速加熱和冷卻。
產品型號
雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS
安裝條件
本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關),必須有良好接地
3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)
4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風裝置:需要
主要特點
1、采用高純Al2O3保溫材料,保證了爐膛有極好的溫度均勻性,內爐膛表面涂有進口高溫
氧化鋁涂層,可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。
2、設有雙石英管,金屬箔纏繞在內管的外表面上,以發生CVD反應。
3、雙管的真空密封法蘭允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管。
4、配有四通道質量流量計控制4路氣體,及采用KF25快接和波紋管連接的高速機械泵。
5、底部設有滑軌,爐子可以從一端滑向另一端,從而實現快速升溫和降溫。
6、樣品所在的位置每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。
技術參數
1、電源:單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW(20A保險絲)
2、石英管:外管外徑?100mm,內徑?96mm,長1400mm
內管外徑?80mm,內徑?75mm,長1400mm
3、加熱區:440mm
4、恒溫區:120mm(雙溫區爐可獲得240mm)
5、工作溫度:最高溫度1100℃,連續溫度1000℃
6、控溫精度:±1℃
7、升降溫速度:在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率
8、真空度:10-3torr(機械泵),10-5torr(分子泵)
9、真空法蘭:SS304不銹鋼,配有兩個高溫O型圈密封
10、流量計:4路精密質子流量計,氣體流量自動控制(數字顯示)
MFC1范圍0-100sccm MFC2范圍0-200sccm
MFC3范圍0-200sccm MFC4范圍0-500sccm
11、流量精度:0.2%
12、進出氣口:1/4"卡套
產品規格
尺寸:550mm×380mm×520mm;重量:138kg
可選配件
1、
銅箔(150m×150mm×25μm,生長
石墨烯用)
2、防腐型數字式真空顯示計