簡介
DIMENSION ICON 可以實現所有主要的掃描探針成像技術,其測試樣品尺寸可達:直徑210MM,厚度15MM。溫度補償位置傳感器使Z-軸和X-Y軸的噪音分別保持在亞-埃級和埃級水平。對于大樣品、90微米掃描范圍的系統來說,這種噪音水平超越了所有的開環掃描高分辨率的原子力顯微鏡。全新的XYZ閉環掃描頭在不損失圖像質量的前提下大大提高了掃描速度。
工作原理
DIMENSION ICON用于形貌,粗糙度及性能分析等。獲取樣品表面形貌信息,表面高度,粗糙度等信息。還可對進行材料的力學,電學,摩擦力等性能表征。 技術參數
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X-Y方向掃描范圍90um *90um典型值,最小85um
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Z方向掃描范圍10um典型值,在成像及力曲線模式下;最小9.5um
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Z傳感器噪音水平(閉環)35pm RMS, 典型成像帶寬(達到625Hz)
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電動定位樣品臺(X-Y軸)180mm*180mm可視區域;單向2um重復性;雙向3um重復
選型原則
檢測能力:表面高度,粗糙度分析 應用案例
下單網址:www.foftest.com 設備結構
DIMENSION ICON 可以實現所有主要的掃描探針成像技術,其測試樣品尺寸可達:直徑210MM,厚度15MM。溫度補償位置傳感器使Z-軸和X-Y軸的噪音分別保持在亞-埃級和埃級水平。對于大樣品、90微米掃描范圍的系統來說,這種噪音水平超越了所有的開環掃描高分辨率的原子力顯微鏡。全新的XYZ閉環掃描頭在不損失圖像質量的前提下大大提高了掃描速度。