1.本發明屬于新能源器件技術領域，具體涉及固態電池領域，尤其涉及一種等離子誘導生長高結晶薄膜電極及薄膜電池的制備方法。
背景技術：
2.近年來兼具高能量與高功率密度的鋰離子電池備受矚目，由于鋰電池多為液態體系，且液態體系存在較大安全隱患，因此鋰電池的進一步發展長期受阻，解決液態體系電池安全問題的可行性途徑就是將電池進行固態化和薄膜化處理。薄膜化的固態電池具有安全系數高、環境友好、可塑性強、厚度可調、可采用物理方法批量制備等優勢，其高能量密度和靈活的結構設計在軍工、醫療、航天與可穿戴電子器件等領域的應用前景尤為突出。
3.目前，全固態薄膜電池的制備工藝仍是影響其電化學性能和生長效率的主要因素，如典型的licoo2/lipon/li全固態薄膜電池體系，常溫合成的licoo2薄膜為結晶性極低的無定型結構，這種無定型結構必須通過后續的高溫退火過程才能形成結晶度更好的層狀結構，然而高溫退火過程會引發下面一系列問題：1)外部高溫退火處理不僅會導致薄膜基底被污染，而且會不可避免的在薄膜中引入較大的內應力，使薄膜出現大量的微裂紋并伴隨微短路情況的出現，這將不利于鋰離子傳輸，使得薄膜表現出較差的電化學性能；2)高溫退火過程中退火溫度一般在600℃以上，該溫度會使其他功能材料，如光刻膠、低熔點金屬鍍層等發生熔化，導致固態電池的工藝兼容性極差；3)高溫退火過程中不可避免的會接觸到空氣中的co2，高溫條件下co2會在薄膜表面生成碳酸鹽絕緣體，致使薄膜界面電阻增加，嚴重影響材料的電化學性能；4)在全電池制備工藝中，退火后的薄膜表面連續生長電解質，由于應力不匹配會導致界面分層現象產生。
4.目前在低于350℃，甚至200℃條件下，生長高結晶性、低表面粗糙度和界面應力均勻的薄膜材料是固態電池領域亟待突破的技術難題，亦是能源/器件一體化制備環節中亟需攻克的技術難點。
5.因此，亟需一種能夠在較低溫度下制備得到高結晶度薄膜電極，以及薄膜電池制備方法。
技術實現要素：
6.有鑒于此，本發明提供一種等離子誘導生長高結晶的薄膜電極及薄膜電池的制備方法，該方法在薄膜電池沉積過程中，采用等離子體誘導使薄膜材料高結晶生長，進而制備得到高結晶度薄膜電極以及界面無污染、應力分布均勻的薄膜電池。
7.為達此目的，本發明采用以下技術方案：一種等離子誘導生長高結晶的薄膜電極及薄膜電池的制備方法，所述制備方
聲明：
“等離子誘導生長高結晶薄膜電極及薄膜電池的制備方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：中國工程物理研究院電子工程研究所
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2025年07月23日 ~ 26日 
